用(yòng)于(yú)快(kuài)速热(rè)處(chù)理(lǐ)、热(rè)氧化(huà)處(chù)理(lǐ)、高(gāo)温(wēn)退(tuì)火(huǒ)的(de)設備
快(kuài)速退(tuì)火(huǒ)爐是(shì)利用(yòng)鹵素红外(wài)燈(dēng)作(zuò)为(wèi)热(rè)源，通(tòng)过(guò)极(jí)快(kuài)地(dì)升(shēng)温(wēn)速率，将晶圆(yuán)或者(zhě)材料快(kuài)速地(dì)加热(rè)到300℃-1200℃，從而(ér)消除晶圆(yuán)或者(zhě)材料內(nèi)部(bù)地(dì)一(yī)些(xiē)缺陷，改善産品性(xìng)能(néng)。
快(kuài)速退(tuì)火(huǒ)爐采用(yòng)先(xiān)進(jìn)的(de)微電(diàn)腦控制系(xì)統，采用(yòng)PID閉环(huán)控制温(wēn)度(dù)，可(kě)以(yǐ)达(dá)到极(jí)高(gāo)的(de)控温(wēn)精度(dù)和(hé)温(wēn)度(dù)均勻性(xìng)，並(bìng)且(qiě)可(kě)配置真(zhēn)空(kōng)腔體(tǐ)，也可(kě)根(gēn)據(jù)用(yòng)戶工藝需求配置多(duō)路(lù)气(qì)體(tǐ)。